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採購 EUV 已無望,中國半導體企業擴大採購 DUV 提升成熟製程

by 科技新報

外媒報導,中國半導體企業專注採用深紫外 (DUV) 曝光技術的半導體生產技術發展,原因是中國半導體企業受制國際協定,仍無法購買生產更先進半導體製程的極紫外 (EUV) 曝光設備。

中國本土最大晶圓代工廠中芯國際近日決定,將荷蘭半導體設備廠艾司摩爾 (ASML) 合約延長至 2022 年,並增加 DUV 設備進口。《中國經濟日報》報導,中芯國際增加採購 ASML 的 DUV 設備,以提高利用 DUV 曝光設備生產半導體的技術競爭力。

中芯國際 2021 年初開始與 ASML 談判擴大 DUV 設備採購規模,但美國政府半導體設備監管持續擴大,擾亂中芯國際 DUV 設備採購計畫。現階段因確認 DUV 設備排除於美國政府禁令外,中芯國際決定增加進口 DUV 曝光設備。ASML 有 30% 營收來自中國,大部分就是販售 DUV 設備給中芯國際。

與 10 奈米以下先進製程的 EUV 曝光設備不同,DUV 曝光設備為成熟製程使用,主要生產汽車電源管理晶片 (PMIC) 和微控制器 (MCU) 等不需先進製程的產品。然而半導體製造商開發出更先進技術,晶圓製造商也可使用 DUV 曝光設備生產 10 奈米相關節點製程。台積電和南韓三星也使用 DUV 曝光設備生產 10 奈米相關節點製程。

EUV 設備進口中國不可能,中國企業開始將目光從 EUV 製程轉到 DUV 製程。因中國半導體企業無法 10 奈米以下生產更有利可圖的產品,目標轉以提高 14 奈米或更大製程的產品為主。根據統計,截至 2020 年底,成熟製程產品就佔整個系統半導體市場銷售金額 73%。

中芯國際已決定到 2023 年前,斥資 110 億美元擴大深圳上海 DUV 生產線。媒體報導,中國半導體企業使用 ASML 的 DUV 設備者約 1,000 件。為了滿足需求,中國半導體企業正加緊從日本半導體設備企業購買二手設備。日本經濟新聞報導,中芯國際等中國半導體企業因積極從日本半導體設備商購買二手半導體設備,使二手半導體設備市場近期大幅成長。

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